SIC Горизонтальные печные трубы

Горизонтальные печные трубы SICявляются незаменимыми носителями печной системы, обычно расположенной в зоне нагрева активной зоны оборудования для производства полупроводников или фотоэлектрического оборудования. Они работают вместе с нагревательными элементами, системами контроля температуры, системами газового контроля и вафельными лодочками, образуя полную систему печи.

В процессе эксплуатации горизонтальные печные трубы SIC нагреваются нагревательными элементами, которые равномерно передают тепло в печные трубы благодаря превосходной теплопроводности карбидокремниевых материалов. При этом в трубу печи вводятся определенные технологические газы (такие как кислород, азот, легирующие газы и т. д.). Под воздействием этой высокотемпературной газовой атмосферы полупроводниковые материалы внутри печи подвергаются химическим реакциям или физическим изменениям, что в конечном итоге приводит к модификации материала, легированию или структурной оптимизации.

Горизонтальные печные трубы Semicorex SIC обладают замечательной механической прочностью и твердостью, что играет важную роль в приложениях, связанных с обработкой и обработкой больших объемов пластин. Горизонтальные печные трубы SIC способны обеспечить стабильную поддержку пластин в процессах термообработки, таких как окисление, диффузия и отжиг, гарантируя, что пластины находятся в правильном положении во время высокотемпературной обработки и избегая смещения или деформации, вызванных термическим напряжением.

Горизонтальные печные трубы Semicorex SIC изготавливаются из высокочистогокарбидокремниевая керамикасо сверхнизким содержанием примесей с последующим нанесением CVDпокрытие из карбида кремнияна их поверхности. Этот метод производства добавляет защитный слой к горизонтальным печным трубам SIC, что позволяет им стабильно работать в сложных высокотемпературных и агрессивных средах с течением времени. Такие коррозионностойкие характеристики горизонтальных печных труб SIC повышают эффективность производства полупроводниковых пластин за счет эффективного снижения риска повреждения компонентов, связанного с коррозией, и уменьшения необходимости частой замены и технического обслуживания.

Обладая такими превосходными свойствами, горизонтальные печные трубы Semicorex SIC широко используются во многих процессах высокотемпературной обработки в фотоэлектрической и полупроводниковой промышленности, таких как процессы окисления, диффузионные процессы, процессы отжига и химическое осаждение из паровой фазы под низким давлением.