Нагревательный элемент из карбида кремния Нагревательные стержни из карбида кремния накаливания

Карбид-кремниевые нагревательные элементы с нитью из карбида кремния представляют собой вершину технологии нагрева, тщательно разработанные для удовлетворения строгих требований процесса производства полупроводников. Этот инновационный нагревательный элемент сочетает в себе исключительные тепловые свойства графита с высокими эксплуатационными характеристиками покрытия из карбида кремния (SiC), что делает его незаменимым инструментом для точного и эффективного производства полупроводников.

Приложения:

Нагревательный элемент Semicorex SiC Нагревательные стержни из карбида кремния накаливания находят незаменимое применение в различных критических процессах производства полупроводников:

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD): обеспечение контролируемого осаждения тонких пленок на подложки, что жизненно важно для создания сложных схем и структур устройств.

Отжиг и диффузия: облегчение контролируемой термообработки для улучшения свойств материала и создания точных профилей легирования в полупроводниковых подложках.

Окисление и травление: поддержка контролируемых процессов окисления и травления, необходимых для изоляции устройств, формирования межсоединений и модификации поверхности.

Рост кристаллов: создание идеальной термической среды для эпитаксиального роста, что приводит к образованию высококачественных кристаллических слоев с определенной ориентацией кристаллов.