SiC фокусировочные кольца

Усовершенствованные фокусирующие кольца Semicorex из карбида кремния высокой чистоты созданы для работы в экстремальных условиях в камерах плазменного (или сухого травления). Мы специализируемся на полупроводниковой промышленности, такой как слои карбида кремния и эпитаксия полупроводников. Наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Компания Semicorex поставляет фокусирующие кольца из карбида кремния, которые действительно устойчивы к RTA, RTP или агрессивной химической очистке. Кольца фокусировки SiC или краевые кольца предназначены для улучшения однородности травления по краю или по периметру пластины. Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления. Наши фокусировочные кольца SiC с покрытием SiC представляют собой плотное, износостойкое покрытие из карбида кремния (SiC). Он обладает высокими коррозионно- и термостойкостью, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Параметры фокусирующих колец SiC

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности фокусирующих колец SiC

- Покрытия из карбида кремния CVD для увеличения срока службы.

- Теплоизоляция из высокоэффективного очищенного жесткого углерода.

- Карбон/углеродный композитный нагреватель и пластина. - И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Графит высокой чистоты и покрытие SiC для устойчивости к точечным отверстиям и увеличения срока службы