Кольца фокусировки SiC

Усовершенствованные кольца фокусировки Semicorex из карбида кремния высокой чистоты созданы для работы в экстремальных условиях в камерах плазменного травления (или сухого травления). Мы ориентируемся на полупроводниковые отрасли, такие как слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники. Наши продукты имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Semicorex поставляет кольца фокусировки SiC, действительно стабильные для RTA, RTP или жесткой химической очистки. Кольца фокусировки SiC или краевые кольца предназначены для улучшения однородности травления по краю или периметру пластины. Сведите к минимуму загрязнение и незапланированное техническое обслуживание с помощью компонентов высокой чистоты, разработанных для жестких условий плазменного травления. Наши кольца фокусировки SiC с покрытием SiC представляют собой плотное износостойкое покрытие из карбида кремния (SiC). Обладает высокими коррозионными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Параметры колец фокусировки SiC

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности колец фокусировки SiC

- Покрытия из карбида кремния CVD для увеличения срока службы.

- Теплоизоляция из высококачественного очищенного жесткого углерода.

- Углеродный композитный нагреватель и пластина. - Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Покрытие из высокочистого графита и карбида кремния для защиты от проколов и увеличения срока службы