Газоотводные диски с карбидом кремния

Компания Semicorex является прекрасным примером передовых полупроводниковых материалов и передовых производственных технологий.с покрытием SiCГазоотводные диски изготовлены из высокочистого графита, а их матрицы с плотным покрытием SiC методом химического осаждения из паровой фазы. Газоотводящие диски в основном предназначены для равномерного распределения реакционного газа по поверхности пластины, чтобы обеспечить полную реакцию во время обработки, тем самым способствуя образованию последовательных и однородных тонких монокристаллических пленок.

Преимущества газоотводных дисков Semicorex с SiC-покрытием

1. Высокая чистота материала

Semicorex поддерживает строгие стандарты качества продукции, начиная с тщательного выбора материалов. Благодаря строгому контролю чистоты сырья газоотводные диски Semicorex с SiC-покрытием обеспечивают низкое содержание примесей и отличаются исключительной чистотой. Это может значительно предотвратить нарушение эпитаксиальных процессов полупроводников ионами металлов и другими загрязнениями.

2. Превосходная термическая стабильность

Компоненты, используемые в этих системах, должны обладать исключительной термической стабильностью, поскольку полупроводниковое эпитаксиальное оборудование обычно работает при температурах выше 1400°C. Эта исключительная термическая стабильность может гарантировать, что газоотводящие диски Semicorex с SiC-покрытием выдерживают сложные высокотемпературные условия эксплуатации и могут эффективно предотвращать выброс примесей, вызванный высокой температурой во время работы, что помогает гарантировать качество и выход эпитаксиальных пластин.

3. Замечательная устойчивость к высокотемпературной коррозии.

Незащищенные графитовые матрицы склонны к коррозии и образованию частиц, поэтому газоотводные диски обычно обрабатывают покрытием из карбида кремния для повышения их коррозионной стойкости. Покрытые плотным SiC-покрытием газоотводные диски Semicorex SiC обладают превосходной стойкостью к окислению и химической коррозии, что позволяет им стабильно работать в течение длительного срока службы даже в сложных высокотемпературных и агрессивных условиях эксплуатации.

4. Гибкие возможности настройки.

Semicorex оснащен разнообразным современным обрабатывающим оборудованием, таким как обрабатывающее оборудование с ЧПУ, плоскошлифовальные станки и оборудование для ультразвукового сверления, предлагающее опытные возможности обработки. Semicorex может предложить гибкие услуги по индивидуальной настройке в соответствии с чертежами заказчика и адаптировать размеры, допуски, плоскостность поверхности, диаметры отверстий и расстояние между отверстиями газоотводных дисков с SiC-покрытием, чтобы обеспечить полную совместимость с эпитаксиальным оборудованием клиентов.