Керамические вафельные лодочки из SiC

Выбор надежных и долговечных аппаратов для изготовления пластин имеет решающее значение для обеспечения стабильности процесса и выхода пластин в условиях высоких температур и высокой коррозии. СемикорексSiC-керамикаВафельные лодочки являются идеальным выбором для этих целей благодаря своим многочисленным преимуществам, включая высокую интеграцию, высокую стабильность, устойчивость к высоким температурам, износостойкость и длительный срок службы.

Выбор сырья премиум-класса

Контроль качества SemicorexКерамические вафельные лодочки из SiCначинается со строгого отбора сырья. Керамические подложки Semicorex SiC изготовлены из порошка карбида кремния полупроводникового уровня высокой чистоты путем высокотемпературного спекания. Благодаря использованию высококачественного сырья они обеспечивают следующие исключительные характеристики.

1. Сверхвысокая чистота, низкий уровень загрязнения металлическими примесями.

2. Плотная структура материала, снижающая загрязнение пластины, вызванное осыпанием частиц.

3. Отличная коррозионная стойкость к плазме, сильным кислотам и щелочам.

4. Высокая твердость и механическая прочность, устойчивость к износу и царапинам.

5. Превосходная термическая стабильность, отсутствие деформации и ползучести при температуре 1250°C.

6. Превосходная стойкость к термическому удару, снижающая термический стресс от быстрых изменений температуры.

Продуманный индивидуальный дизайн

Керамические вафельные лодочки Semicorex SiC хорошо сочетаются со многими ведущими производителями печей в отрасли, такими как TEL, ASM и Kokusai Electric. Semicorex предлагает специально разработанные решения для наших уважаемых клиентов, поддерживающие настройку размеров пластинчатых лотков, шага паза, глубины паза, профиля паза (V-образной или U-образной формы) и соответствующих углов, чтобы обеспечить идеальную совместимость с вашим оборудованием и требованиями обработки.

Прецизионная точность обработки

Благодаря современному обрабатывающему оборудованию и проверенным технологиям обработки компания Semicorex может строго контролировать размеры и допуски своих керамических подложек из карбида кремния. Этот высокоточный контроль размеров обеспечивает прочное положение полупроводниковых пластин во время работы, что эффективно предотвращает повреждение пластин в результате проскальзывания или наклона. После прецизионной обработки равномерно расположенные пазы лодочек для керамических пластин SiC могут гарантировать, что каждая пластина нагревается и равномерно реагирует во время процессов окисления, диффузии и CVD, что в значительной степени способствует улучшению стабильности процесса и выходу полупроводниковых чипов.