Карбид-керамические вакуумные патроны

Прецизионные микроотверстия равномерно распределены по поверхности вакуумных патронов из SiC-керамики, что обеспечивает надежное соединение с внешним вакуумным оборудованием. Во время работы вакуумный насос активируется для всасывания воздуха через отверстия, создавая среду отрицательного давления между полупроводниковой пластиной и вакуумным патроном. Таким образом, это позволяет пластине равномерно и прочно удерживаться на поверхности вакуумного патрона.

Преимущества керамических вакуумных патронов Semicorex SiC

1. Выбор материала премиум-класса

СемикорексКарбид-керамические вакуумные патронытщательно выбирайте карбид кремния высокой чистоты в качестве сырья. Строгий контроль Semicorex за чистотой материала эффективно предотвращает загрязнение пластин, вызванное примесями во время работы, тем самым удовлетворяя растущие требования к чистоте производства и выходу продукции.

2. Высокая точность обработки.

Поверхность керамических вакуумных патронов Semicorex SiC подвергается зеркальной полировке, а их плоскостность контролируется на уровне 0,3–0,5 мкм. Такой исключительный контроль плоскостности может обеспечить оптимальный эффект контакта, что значительно снижает риск появления царапин на пластинах, вызванных шероховатыми контактными поверхностями. Каждое микроотверстие и канавка в вакуумных патронах обработаны с высокой точностью, что обеспечивает стабильный и равномерный эффект адсорбции во время работы.

3. Гибкие услуги по настройке

Semicorex предоставляет нашим уважаемым клиентам услуги по индивидуальному заказу, предлагая вакуумные патроны из SiC-керамики различных размеров, такие как 6-дюймовые, 8-дюймовые и 12-дюймовые. Мы можем адаптировать размерные допуски, размер пор, плоскостность и шероховатость в соответствии с требованиями заказчика, обеспечивая идеальное соответствие вашему оборудованию для обработки и контроля полупроводников.

4. Отличная долговечность и долговечность.

СемикорексSiC-керамикавакуумные патроны формируются путем изостатического прессования, а затем спекаются при высокой температуре. Благодаря этим специальным технологиям керамические вакуумные патроны Semicorex SiC обладают множеством превосходных характеристик, таких как легкий вес, высокая жесткость, высокая износостойкость и низкий коэффициент теплового расширения. Эти свойства позволяют керамическим вакуумным патронам Semicorex SiC постоянно эксплуатироваться в сложных условиях при транспортировке и обработке полупроводниковых пластин.