Описание продукта

СемикорексКерамические консольные лопатки SICявляются важнейшими компонентами для перемещения держателей пластин в печи и из них. Они широко используются в оборудовании для термической обработки, таком как печи для окисления, диффузии и LPCVD (химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении) в фотоэлектрическом и полупроводниковом производстве.

Благодаря превосходной механической прочности, термической стабильности, устойчивости к высоким температурам, стойкости к окислению, стойкости к термическому удару и стойкости к химической коррозии реакционно-связанный карбид кремния (RBSIC) подходит для изготовления крупногабаритных консольных лопастей из карбида кремния.

СемикорексСИК керамикаКонсольные лопасти обеспечивают свою высокую несущую способность благодаря механической прочности и жесткости высококачественного материала из карбида кремния, связанного с помощью реакции реакции (RBSiC). Эти лопатки, способные выдерживать большую нагрузку кремниевых пластин, оптимизируют производительность отдельных циклов диффузии и помогают повысить эффективность производства.

В консольных керамических лопастях Semicorex SiC используется процесс 3D-печати цельных деталей, который способствует поддержанию точности размеров и постоянства формы компонентов. Такая конструкция консольных лопастей из SiC-керамики также обеспечивает полную совместимость с системами диффузионных печей. Их прочная консольная конструкция обеспечивает плавное перемещение без вибрации, сводя к минимуму вероятность поломки или отклонения пластины при загрузке и выгрузке.

Качество является главным приоритетом для Semicorex. Все готовые консольные лопасти из карбида кремния должны пройти многочисленные процедуры испытаний, включая проверку точности размеров и оценку свойств материала, чтобы гарантировать их высочайшее качество. Если у вас есть какие-либо потребности в покупке, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.