SIC Керамические лодки

Керамические лодки Semicorex SIC-это современные носители, специально разработанные для безопасного транспортировки, хранения и обработки полупроводниковых пластин в наиболее требовательных химически и термически экстремальных средах. Полупроводниковая индустрия быстро приняла новые стандарты производительности, которые требовали надежно, доверчиво, доверчиво и без загрязнения.

Сильная термическая стабильность и прочность

Определяющим атрибутом керамических лодок SIC является очень высокая тепловая стабильность. Керамические лодки SIC могут выдержать температуру свыше 1600 ° C, не теряя их формы или структуры во время агрессивных процессов термического цикла. Из-за коэффициента ультра-низкого теплового расширения, керамические лодки SIC менее подвержены искажениям и растрескиванию, что позволяет обеспечить жесткие допуски и общую безопасность пластин во время обработки в жестких условиях.

Высокая чистота и химическая устойчивость

Керамические лодки SIC изготовлены из силиконовой карбида сверхвысокой чистоты. Керамические лодки SIC также очень устойчивы к химической деградации, коррозийной и разрушающей плазме. Инертный характер керамических лодок SIC означает процессы коррозионных газов, реактивных сред, кислотных условий, не образуя либо загрязнения с лодки, либо ничего растворимого, чтобы нанести вред рабочему процессу. Незагрязняя поверхность керамических лодок SIC не позволяет генерировать частицы или выщелачивание ионов, поэтому поверхность пластины не подвергается опасности примесей, которые препятствуют производительности или урожайности устройства.

Точная инженерия для безопасной и безопасной обработки пластин

Керамические лодки SIC производятся в рамках плотных допусков, что позволяет им обрабатывать пластины различных диаметров, в том числе 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм и более. Структурная конструкция лодок SIC обеспечивает превосходную плоскостность, параллелизм и равномерный размер слота для поддержания надлежащей ориентации в утилизации пластин и защиты краев пластины при передаче в другой процесс или инструмент. Все лодки SIC могут быть разработаны с помощью пользовательских размеров, чтобы соответствовать набору инструментов или соответствия любым спецификациям автоматизации.

Длительный срок службы и более экономичный

SIC заменяет традиционные материалы (кварц, глинозем) значительно улучшенной механической прочностью, вязкостью перелома и сопротивлением тепловым ударом. Этот уровень долговечности приводит к более длительному сроку службы до «неудачи», значительно меньше замены во время работы и более низкой общей стоимости владения. Последовательность производительности от долговечности SIC уменьшит время простоя и ускорит пропускную способность на производственных линиях полупроводников.

Открытые приложения в полупроводниковых процессах

Керамические лодки SIC широко используются в фронтальных полупроводниковых процессах, таких как:

LPCVD и PECVD осаждение

Тепловое окисление

Ионная имплантация

Отжиг и диффузия

Очистка пластин и химическая обработка

Керамические ручки SIC имеют совместимое применение обработки как в атмосферных, так и в камерах вакуумных процессов, что делает его идеальным выбором для литейных заводов и FAB, стремящихся свести к минимуму и снизить риск загрязнения при одновременном повышении производительности.