SIC Консольные весла

Получики SIC Consilever Baddles представляют собой высокопроизводительные компоненты, которые предназначены именно для обработки пластин и транспортировки пластин в оборудовании для полупроводникового теплопровода (LPCVD, PECVD, окисление и диффузионные печи). Эти консольные лопасти предоставляют платформу для пластин и необходимую форму поддержки, которая обеспечивает стабильный и надежный транспорт хрупких вафель посредством резких высокотемпературных процессов (часто превышающих 1200 ° C). Консольные лопатки изготавливаются из карбида кремния высокой чистоты (SIC), который обеспечивает механическую долговечность, тепловую стабильность и антикоррозивные свойства для среды полупроводникового изготовления.

Кремниевый карбид-это керамический материал из супер-премия с превосходной теплопроводностью, низким тепловым расширением и способностью надежно работать в химически враждебных средах. Кремниевый карбид в кантилевере может помочь уменьшить тепловое деформацию

 и движение, которое сохраняет пластины и в их номинальной положении обработки. Термическая стабильность пластины в контексте кантилевных лопастей важна для минимизации проблем загрязнения частиц и механического движения, особенно при производстве усовершенствованных узлов. Эти проблемы могут привести к потере доходности или дорогостоящей переделке и замене пластин.

Монолитная форма кантилевского лопасти SIC улучшает механическую надежность и термическую однородность, одновременно устраняя суставы и слабые точки, которые обычно могут существовать в композитах. Кроме того, поверхностная отделка лопастей специально контролируется и, как правило, полируется до почти зеркального качества, чтобы минимизировать генерацию частиц, и очень чистый класс.

В процессах диффузии и окисления, которые включают кислород, пара и другие реактивные газы; Обычные материалы могут распадаться или деформироваться с течением времени. Свойство SIC, присущее химическим инертным инертным, гарантирует, что весла не будут переоценить, или корреть и вводить загрязнение в процессе из -за использования нестабильных материалов, что способствует более стабильному процессу и надежным результатам.  Структурная целостность кантилеров SIC остается стабильной, несмотря на быстрой ездой нагрева и охлаждения. Поэтому они предлагают длительный срок эксплуатационного обслуживания с значительным сокращением технического обслуживания или простоя в замене части.

Кроме того, уменьшенная масса и легкий вес весла SIC обеспечивают более быстрый тепловой отклик; Тем самым позволяя более быстрое время термического наращивания и времени охлаждения, способствуя повышению производительности и энергоэффективности, все основные показатели в конкурентной среде полупроводникового производства.

Кантилевные лодки SIC могут быть поставляются в различных конфигурациях и размерах, разработанных и изготовленных для размещения различных конструкций печи и размеров вафель в диапазоне от 100 мм до 300 мм и больше. Производительные и интеграторы OEM-оборудования со временем ценят согласованность и надежность весла SIC, для развертывания как в передних, так и в движении процессов.

Semicorex предлагает кантилевные лопатки премиум -класса с жестким контролем чистоты материала, микроструктуры и размерных допусков. Наши расширенные возможности процесса в сочетании с нашими знаниями о полупроводниковой термической динамике позволяют нам производить весла с этими атрибутами, которые соответствуют или превышают отраслевые стандарты для стабильности, чистоты и долговечности. Когда это должно быть правильным и надежным, Semicorex - это место, где можно найти качественные компоненты SIC.