Консольное весло SiC

Консольная лопасть Semicorex SiC (карбид кремния) является важнейшим компонентом, используемым в процессах производства полупроводников, особенно в диффузионных печах или печах LPCVD (химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении) во время таких процессов, как диффузия и RTP (быстрая термическая обработка). Он служит для поддержки и транспортировки пластин внутри технологической трубы этих печей.

Консольная лопатка Semicorex SiC в основном состоит из карбида кремния, прочного и термически стабильного материала, известного своей устойчивостью к высоким температурам и превосходными механическими свойствами. Карбид кремния выбран из-за его способности выдерживать суровые условия, возникающие в высокотемпературных технологических средах полупроводниковых печей. Конструкция консольной лопасти из карбида кремния позволяет ей входить в технологическую трубу печи, при этом прочно закрепляясь одним концом снаружи трубы. Такая конструкция обеспечивает стабильность и поддержку обрабатываемых пластин, сводя к минимуму влияние на тепловую среду внутри печи.

Консольная лопасть SiC предназначена для надежной транспортировки полупроводниковых пластин внутри технологической трубки во время различных высокотемпературных процессов, таких как диффузия и RTP. Его прочная конструкция гарантирует, что он может выдерживать экстремальные температуры и химические среды, возникающие во время этих процессов, без деградации или отказа. Консольные лопатки из карбида кремния совместимы с широким диапазоном размеров и форм полупроводниковых пластин, обычно используемых в промышленности. Их часто можно настроить в соответствии с конкретными конфигурациями печей и технологическими требованиями.