SIC Boat Holders

Владельцы лодок SemiCorex SIC представляют собой точные устройства поддержки, предназначенные для удержания лодок пластин во время высокотемпературных процессов в полупроводнике. Изготовленные из карбида кремния высокой чистоты (SIC), эти держатели демонстрируют превосходную тепловую стабильность, химическую устойчивость и механическую жесткость, основные особенности при использовании в таких процессах, как диффузия, окисление и эпитаксиальный рост.

В требовании среды изготовления полупроводников, защита целостности пластин и минимизация загрязнения имеет решающее значение. Владельцы лодок SIC предлагают твердую инертную платформу, которая может переносить экстремальную печь, сохраняя при этом целостность без деформации и без выпуска загрязняющих веществ. Их химическая инертность позволяет использовать их с помощью газ реактивного процесса, в то время как их тепловая передача способствует даже нагреву поверхности пластин для последовательной обработки.

Каждый держатель лодки SIC производится с высокой толерантностью к точности размеров, что позволяет им простым размещать и адаптироваться к любому типу лодки пластины и автоматической конфигурации нагрузки. Их жесткая структура не только создает сильную, стабильную и адекватную поддержку для лодок пластин, но также уменьшает случайные микровибрации или позиционные сдвиги на пластинах. Кроме того, кремниевый карбид обладает отличной износостойкой и может обрабатывать повторный тепловой цикл, чтобы обеспечить длительный срок службы, приводящий к небольшому простоя и замене деталей флакона.

Уникальные атрибуты карбида кремния могут обеспечить дополнительные преимущества в отношении чистоты процесса. В отличие от металлов или керамических материалов более низкого уровня, SIC не хлопает, не опускает, не разлагается химически при экстремальных температурах или в плазме. Это делает держателей лодок SIC отличным инструментом для производителей, пытающихся ограничить загрязнение чистой комнаты для усовершенствованных полупроводниковых узлов, которые требуют высокой урожайности и чистоты.

Держатели лодок Semicorex производятся с использованием уникальных процессов литья и спекания, которые обеспечивают однородную микроструктуру и механическую производительность между партиями и между несколькими держателями лодок. Например, может быть настроена форма держателя или конфигурация слота, а также тип монтажа.

Независимо от того, используются ли в вертикальных печи или горизонтальных реакторах, настройка держателей лодок Semicorex будет соответствовать допускам к полупроводниковым производству следующего поколения. Если вы выберете Semicorex Products, вы узнаете, что работали с поставщиком, который является осведомленным, посвященным материальному превосходству, и стремится постоянно инновация керамических компонентов в отношении надежности и доставки.