Лодка Semicorex SiC для обработки пластин, изготовленная из карбида кремния исключительной чистоты, может похвастаться конструкцией, включающей прецизионные пазы для фиксации пластин, предотвращающие любое движение во время рабочих процедур. Выбор карбида кремния в качестве материала обеспечивает не только твердость и упругость, но и способность выдерживать повышенные температуры и воздействие химикатов. Это делает лодочку SiC для обработки пластин ключевым компонентом на многих этапах производства полупроводников, таких как выращивание кристаллов, диффузия, ионная имплантация и процессы травления.
Отличающаяся беспрецедентным соотношением прочности к весу и превосходными теплопроводными свойствами, лодочка Semicorex SiC для работы с пластинами подвергается дальнейшему усовершенствованию за счет нанесения покрытия CVD SiC. Этот дополнительный слой покрытия повышает его устойчивость к суровым условиям технологической среды и защищает его как от химического разложения, так и от температурных колебаний, значительно продлевая срок его службы и обеспечивая стабильную работу в жестких эксплуатационных требованиях.
При термических операциях, таких как отжиг или диффузия, SiC Boat for Wafer Handling способствует достижению равномерного распределения температуры на поверхности пластины. Его превосходная теплопроводность способствует эффективному рассеиванию тепла, уменьшая температурные различия и обеспечивая единообразие результатов процесса.
Лодка Semicorex SiC для обработки пластин ценится за свою надежность и выдающиеся характеристики, соответствующие строгим требованиям современного производства полупроводников. Благодаря своей способности адаптироваться как к серийному, так и к индивидуальному производству пластин, SiC Boat for Wafer Handling является важным инструментом для предприятий по производству полупроводников, призванных обеспечить высочайшие стандарты продукции и максимальный выход продукции. Роль SiC Boat for Wafer Handling имеет решающее значение в поддержании как целостность и надежность пластин, находящих широкое применение в оборудовании для производства полупроводников, промышленных устройствах и в качестве запасных частей.