Полупроводниковый вафельный патрон

Усовершенствованные компоненты Semicorex с покрытием из карбида кремния высокой чистоты созданы для того, чтобы выдерживать экстремальные условия в процессе обработки пластин. Наш полупроводниковый вафельный патрон имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Сверхплоский полупроводниковый вафельный патрон Semicorex покрыт карбидом кремния высокой чистоты и используется в процессе обработки пластин. Полупроводниковый вафельный патрон на оборудовании MOCVD Рост соединения обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях и улучшает управление доходностью при обработке полупроводниковых пластин. Конфигурации с малым контактом с поверхностью минимизируют риск попадания частиц на обратную сторону для чувствительных приложений.

Параметры полупроводникового вафельного патрона

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300