Конечный эффектор робота

Semicorex является ведущим независимым производителем графита с покрытием из карбида кремния, графита высокой чистоты прецизионной обработки, специализирующегося на графите с покрытием из карбида кремния, керамике из карбида кремния, MOCVP в области производства полупроводников. Наш роботизированный концевой эффектор имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Конечный эффектор робота — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями. Роботизированный концевой эффектор должен иметь точные размеры и термическую стабильность, а также иметь гладкую, устойчивую к истиранию поверхность, чтобы безопасно работать с пластинами, не повреждая устройства и не создавая загрязнения частицами. Наш роботизированный концевой эффектор с покрытием из карбида кремния высокой чистоты (SiC) обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость.

Параметры конечного эффектора робота

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300