Конечный эффектор робота

Robot End Effector — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями. Робот End Effector должен иметь точные размеры и термическую стабильность, а также иметь гладкую, устойчивую к истиранию поверхность для безопасного обращения с пластинами без повреждения устройств или загрязнения твердыми частицами. Наше покрытие Robot End Effector из высокочистого карбида кремния (SiC) обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости, а также длительную химическую стойкость.

Параметры концевого эффектора робота

Особенности робота-эффектора

Графит высокой чистоты с покрытием SiC

Превосходная термостойкость и тепловая однородность

Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности

Высокая стойкость к химической очистке

Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.