Пористые вакуумные патроны SiC

Semicorex пористый SiCвакуумные патроныявляются незаменимыми компонентами, которые можно широко использовать в передовых процессах производства полупроводников, таких как утончение пластин, нарезка кубиками, шлифовка, полировка, фотолитография, травление. Их адсорбционная платформа состоит из пористой керамической пластины SiC с многочисленными равномерно распределенными порами микронного размера. Благодаря постоянному диаметру пор и исключительной скорости прохождения отверстий вакуумные патроны Semicorex из пористого карбида кремния обеспечивают плавный путь газа для вакуумной откачки. Во время работы между патроном и пластиной создается стабильное и равномерное отрицательное давление, что обеспечивает высокоэффективный вакуумный зажим и освобождение полупроводниковых пластин.

Преимущества вакуумных патронов Semicorex из пористого карбида кремния 

1. Исключительная точность обработки.

Полупроводниковые пластины, обрабатываемые в современном полупроводниковом производстве, чрезвычайно тонкие, поэтому даже небольшой изгиб, вибрация или неравномерное локальное напряжение могут привести к поломке пластины, деформации и снижению точности в таких важных процессах, как литография. Семикорекспористый SiCВакуумные патроны обрабатываются высокоточным шлифованием и полировкой, достигая идеальной шероховатости поверхности Ra < 0,1 мкм. Это позволяет вакуумным патронам Semicorex из пористого карбида кремния обеспечивать оптимизированную рабочую поверхность для высокоточного производства полупроводников.

2. Высокая чистота и высокая коррозионная стойкость.

Чтобы полностью соответствовать строгим стандартам чистоты полупроводников, Semicorex производит вакуумные патроны из пористого карбида кремния из карбида кремния высокой чистоты путем высокотемпературного спекания. Это гарантирует, что патроны не будут осыпаться частицами и мигрирующими металлическими загрязнениями. Благодаря превосходной химической стабильности SiC, вакуумные патроны Semicorex из пористого SiC способны противостоять агрессивной коррозионной среде и не образуют дополнительных побочных продуктов, что делает их очень подходящими для процессов производства высококачественных чистых полупроводников.

3. Отличная долговечность и долгосрочная стабильность.

Вакуумные патроны, используемые на производственных линиях, должны выдерживать тысячи циклов адсорбции и высвобождения, а также длительные колебания температуры. Это предъявляет чрезвычайно высокие требования к материальным характеристикам вакуумных патронов. Вакуумные патроны Semicorex из пористого карбида кремния характеризуются исключительной твердостью и износостойкостью материала, а также стабильным тепловым расширением. Они не демонстрируют ползучести или ухудшения характеристик в условиях высоких температур, что значительно продлевает срок их службы и снижает частоту обслуживания и замены компонентов.