Пористый SIC Chuck

Semicorex Porous SIC Chace - это керамическая часть, которая была собрана с точностью для безопасной, эффективной обработки субстратов пластин для полупроводниковых применений посредством этапов процессов, таких как проверка, тестирование и литография. Чак изготовлен из микробирной кремниевой карбид-керамики (sic). SIC обладает механической прочностью, химической стойкостью и термической стабильностью, необходимыми для передовых средств для производства полупроводников.

Основной характеристикой пористого патрона SIC является его уникальная микроструктура, которая демонстрирует пористость в 35%-40%. С плотно контролируемой пористостью патрона, надлежащая конструкция позволяет равномерно распределять вакуумное всасывание по всему патрону, генерирующему последовательную стабильную и бесконтактную поддержку для обычно деликатных подложков пластины: кремния или GAN, и другие соединительные полупроводники.  Режим вакуумного всасывания позволяет избежать как загрязнения частиц, так и механического повреждения, тем самым сохраняя целостность пластины во время процесса.

Керамическое тело патрона в первую очередь является высокой чистотой, с другой керамикой, такой как глинозем (AL2O3), потенциально используемое для ограниченного количества функциональных слоев в зависимости от применения. Исследование и разработка материала позволяют управлять размером и распределением пор для разработки воздушного потока и удержания силы в зависимости от размеров пластин и условий процесса. Если важно контролировать вакуум на более тонких пластинах, будет включен меньший размер пор. Для более быстрых скоростей потока, при необходимости, будет использоваться больший размер пор.

Пористые SIC -патроны демонстрируют изменение цвета в результате переменных размеров пор, керамических композиций и условий стрельбы. SIC Chacks, как правило, черные или темно-серые, так как цвет карбида кремния либо серый, либо черный, однако патроны с большим содержанием глинозема, как правило, не совсем белый цвет. Разнообразные отклонения не влияют на производительность продукта и представляют только инженерные свойства, которые были созданы для конкретных приложений, чтобы соответствовать конкретным потребностям клиентов.

В высококлассных инструментах обработки пластины тепловая стабильность и химическая инертность являются двумя наиболее важными функциями. Кремниевый карбид обеспечивает отличную устойчивость к коррозионным газам и термическим велосипедным велосипедам. Пористый SIC Chuck успешно работает в вакуумных камерах и инструментах плазменного травления, и он продолжает хорошо работать с быстро меняющимися температурами. Их способность поддерживать диммиенскую стабильность патрона гарантирует, что пластина остается в том же месте, даже если требования к точности могут быть ниже субмикрона в зависимости от процесса, способствующего измерению, стабилизированному обеспечивает точность.

Полезные пористые патроны SIC изготавливаются с использованием уполномоченных процедур формирования и спекания, которые обеспечивают равномерную пористость, высокую прочность на изгиб и низкое тепловое расширение. Каждый патрон проверяется на структуру пор, плоскостность и вакуумные характеристики, чтобы обеспечить надежный и повторяемый продукт. Пользовательские проекты также доступны для размещения определенных размеров пластин и требований к интеграции систем, таких как каналы потока газа задней стороны или функции монтажа.

В заключение, пористый SIC Chace является системой поддержки подложки высокой надежности, которая была тщательно разработана для работы в сочетании с требованиями к обработке точной пластины. С высокой способностью к удержанию вакуума, настраиваемой структурой пор и выдающейся стабильностью материала, это незаменимый продукт в сегодняшних линиях полупроводникового изготовления.