Semicorex является крупным производителем и поставщиком графита с покрытием из карбида кремния в Китае. Наше входное уплотнительное кольцо MOCVD имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Входное уплотнительное кольцо Semicorex из карбида кремния MOCVD представляет собой графит с покрытием из карбида кремния высокой чистоты, используемый в процессах осаждения и обработки пластин. Входное уплотнительное кольцо MOCVD с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и устойчивостью к коррозии, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
В Semicorex мы уделяем особое внимание поставке высококачественных и экономичных впускных уплотнительных колец MOCVD, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры входного уплотнительного кольца MOCVD
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности входного уплотнительного кольца MOCVD
Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.