Semicorex является крупным производителем и поставщиком графита с покрытием из карбида кремния в Китае. Наше входное уплотнительное кольцо MOCVD имеет хорошее ценовое преимущество и подходит для многих европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Покрытие из карбида кремния Semicorex Входное уплотнительное кольцо MOCVD представляет собой графит высокой чистоты с покрытием из карбида кремния, который используется в процессе осаждения и обработки пластин. Входное уплотнительное кольцо MOCVD с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных входных уплотнительных колец MOCVD, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономичные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры входного уплотнительного кольца MOCVD
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
SiC-ХОПФ свойства |
||
Кристальная структура |
Фаза FCC β |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности входного уплотнительного кольца MOCVD
Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и тепловая однородность
Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической очистке
Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.