Semicorex является крупным производителем и поставщиком графита с покрытием из карбида кремния в Китае. Наше входное уплотнительное кольцо MOCVD имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Входное уплотнительное кольцо Semicorex из карбида кремния MOCVD представляет собой графит с покрытием из карбида кремния высокой чистоты, используемый в процессах осаждения и обработки пластин. Входное уплотнительное кольцо MOCVD с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и устойчивостью к коррозии, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
В Semicorex мы уделяем особое внимание поставке высококачественных и экономичных впускных уплотнительных колец MOCVD, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
	
Параметры входного уплотнительного кольца MOCVD
| 
				 Основные характеристики покрытия CVD-SIC  | 
		||
| 
				 Свойства SiC-CVD  | 
		||
| 
				 Кристаллическая структура  | 
			
				 FCC β-фаза  | 
		|
| 
				 Плотность  | 
			
				 г/см³  | 
			
				 3.21  | 
		
| 
				 Твердость  | 
			
				 Твердость по Виккерсу  | 
			
				 2500  | 
		
| 
				 Размер зерна  | 
			
				 мкм  | 
			
				 2~10  | 
		
| 
				 Химическая чистота  | 
			
				 %  | 
			
				 99.99995  | 
		
| 
				 Теплоемкость  | 
			
				 Дж кг-1 К-1  | 
			
				 640  | 
		
| 
				 Температура сублимации  | 
			
				 ℃  | 
			
				 2700  | 
		
| 
				 Фелексуральная сила  | 
			
				 МПа (RT 4-точечный)  | 
			
				 415  | 
		
| 
				 Модуль Юнга  | 
			
				 Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)  | 
			
				 430  | 
		
| 
				 Тепловое расширение (CTE)  | 
			
				 10-6К-1  | 
			
				 4.5  | 
		
| 
				 Теплопроводность  | 
			
				 (Вт/мК)  | 
			
				 300  | 
		
	
Особенности входного уплотнительного кольца MOCVD
Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.
	
 
![]()
