Впускные кольца MOCVD

Semicorex поставляет входные кольца MOCVD, используемые при осаждении и обработке пластин, которые действительно устойчивы к RTA, RTP или жесткой химической очистке. Наши впускные кольца MOCVD имеют графитовую конструкцию с покрытием из карбида кремния (SiC) высокой чистоты, которая обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость. Мелкое кристаллическое покрытие SiC обеспечивает чистую, гладкую поверхность, что очень важно для удобства обращения, поскольку чистые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей своей площади.

В Semicorex мы уделяем особое внимание поставке высококачественных и экономичных впускных колец MOCVD, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры входных колец MOCVD

Особенности впускных колец MOCVD

- Хорошая плотность и может играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.