Входные кольца MOCVD

Semicorex поставляет входные кольца MOCVD, используемые для осаждения и обработки пластин, которые действительно устойчивы к RTA, RTP или жесткой химической очистке. Наши впускные кольца MOCVD имеют графитовую конструкцию с покрытием из высокочистого карбида кремния (SiC), что обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную тепловую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости, а также длительную химическую стойкость. Покрытие из мелких кристаллов карбида кремния обеспечивает чистую, гладкую поверхность, что очень важно для обращения, поскольку нетронутые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей площади.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных впускных колец MOCVD, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономичные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры входных колец MOCVD

Особенности входных колец MOCVD

- Хорошая плотность и может играть хорошую защитную роль в высокотемпературных и агрессивных рабочих средах.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.