Горизонтальные лодки из карбида кремния

Полукорекс горизонтальныйлодки из карбида кремнияформируются целиком с использованием технологии 3D-печати, а затем изготавливаются посредством высокотемпературного спекания. Эти компоненты, специально созданные для использования в высокотемпературных горизонтальных печах различных размеров, широко применяются для надежного удержания пластин в важнейших процессах высокотемпературного производства полупроводников, включая диффузию, окисление и химическое осаждение из паровой фазы.

Физико-химические свойства карбида кремния.

Преимущества горизонтальной лодочки из карбида кремния Semicorexs

1. Стабильная поддержка и положение.

Непревзойденная прочность и твердость материала обеспечивают горизонтальным лодочкам Semicorex из карбида кремния превосходную несущую способность, что позволяет им стабильно перевозить несколько пластин одновременно. Благодаря прецизионной обработке пазов горизонтальные лодочки из карбида кремния Semicorex могут прочно фиксировать и надежно удерживать полупроводниковые пластины. Равномерно расположенная структура слотов гарантирует, что пластины сохраняют фиксированное положение на протяжении всего цикла обработки, тем самым гарантируя последовательность и точность процессов производства полупроводников.

2. Совместимость со сложными условиями эксплуатации.

Благодаря превосходной стойкости к высоким температурам и коррозии горизонтальные лодочки Semicorex из карбида кремния способны выдерживать суровые условия эксплуатации, такие как высокотемпературные атмосферы кислорода, азота или хлористого водорода с низкой концентрацией. Эти исключительные свойства материала могут эффективно предотвратить коррозию и повреждения, вызванные высокотемпературными агрессивными газами, что значительно продлевает срок службы лодок.

3. Исключительная чистота

В отличие от обычных графитовых лодочек с покрытием из карбида кремния, горизонтальные лодочки из карбида кремния Semicorex изготовлены из полупроводникового материала высокой чистоты.карбид кремния(99,999%) со сверхнизким содержанием примесей. Этот выбор материалов премиум-класса исключает риск выделения газов или отслаивания покрытия даже при воздействии высоких температур и агрессивных агрессивных сред. Кроме того, каждая из наших лодочек из карбида кремния подвергается строгой ультразвуковой очистке перед вакуумной упаковкой, что гарантирует соответствие стандартам чистоты, требуемым передовыми процессами производства полупроводников.