Впускное кольцо газа для полупроводникового оборудования

Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы специализируемся на полупроводниковой промышленности, такой как слои карбида кремния и эпитаксия полупроводников. Наше кольцо впуска газа для полупроводникового оборудования имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Газовпускное кольцо Semicorex для полупроводникового оборудования имеет покрытие SiC, которое представляет собой плотное, износостойкое покрытие из карбида кремния (SiC). Он обладает высокими коррозионно- и термостойкостью, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Наше газовпускное кольцо для полупроводникового оборудования разработано для достижения наилучшей ламинарной схемы потока газа, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любые загрязнения или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на пластине-чипе.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем впускном кольце газа для полупроводникового оборудования.

Параметры газовпускного кольца полупроводникового оборудования

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности газовпускного кольца для полупроводникового оборудования

● Графит высокой чистоты с покрытием SiC.

● Превосходная термостойкость и термическая однородность.

● Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности.

● Высокая стойкость к химической чистке.

● Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.

Горячие Теги: Впускное кольцо газа для полупроводникового оборудования, Китай, производители, поставщики, фабрика, по индивидуальному заказу, оптом, усовершенствованное, долговечное

Тег продукта

Связанная категория