Конечный эффектор для обработки пластин

Концевые эффекторы Semicorex для работы с пластинами имеют точные размеры и термическую стабильность, а также имеют гладкое, устойчивое к истиранию покрытие CVD SiC, обеспечивающее безопасное обращение с пластинами, не повреждая устройства и не создавая загрязнения частицами, которые могут перемещать полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителях. точно и эффективно. Наше концевое эффекторное покрытие из карбида кремния (SiC) высокой чистоты для обработки пластин обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость.

В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению нашим клиентам высококачественной и экономически эффективной продукции. Наш концевой эффектор для обработки пластин имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие рынки Европы и Америки. Мы стремимся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя продукцию стабильного качества и обеспечивая исключительное обслуживание клиентов.

Параметры конечного эффектора для обработки пластин

Особенности концевого эффектора для обработки пластин

Покрытие SiC высокой чистоты, полученное методом CVD

Превосходная термостойкость и термическая однородность

Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности

Высокая стойкость к химической чистке.

Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.