Концевой эффектор для обработки пластин

Концевой эффектор Semicorex для работы с пластинами имеет точные размеры и термически стабилен для обработки пластин. Мы являемся производителями и поставщиками элементов покрытия из карбида кремния в течение многих лет. Наши продукты имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Концевые эффекторы Semicorex для обработки пластин имеют точные размеры и термостабильность, а также имеют гладкую, устойчивую к истиранию пленку покрытия CVD SiC для безопасного обращения с пластинами без повреждения устройств или загрязнения твердыми частицами, которые могут перемещать полупроводниковые пластины между положениями в оборудовании для обработки пластин и носителях. точно и эффективно. Наш концевой эффектор с покрытием из карбида кремния (SiC) высокой чистоты для работы с пластинами обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости, а также длительную химическую стойкость.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наш концевой эффектор для обработки вафель имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры концевого эффектора для обработки пластин

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики концевого эффектора для работы с пластинами

Покрытие SiC высокой чистоты с использованием метода CVD

Превосходная термостойкость и тепловая однородность

Мелкие кристаллы карбида кремния с покрытием для получения гладкой поверхности

Высокая стойкость к химической очистке

Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.

Горячие Теги: Концевой эффектор для обработки пластин, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные