Прочные кольца фокусировки для обработки полупроводников

Прочные фокусировочные кольца Semicorex для обработки полупроводников предназначены для работы в экстремальных условиях камер плазменного травления, используемых при обработке полупроводников. Наши кольца фокусировки изготовлены из графита высокой чистоты, покрытого плотным, износостойким покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие SiC обладает высокими антикоррозийными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит с помощью процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD), чтобы продлить срок службы наших фокусировочных колец.

Отправить запрос

Описание продукта

Наши прочные фокусирующие кольца для обработки полупроводников разработаны для улучшения однородности травления по краю или по периметру пластины, сводя к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание. Они очень стабильны при быстром термическом отжиге (RTA), быстрой термической обработке (RTP) и жесткой химической очистке.

В Semicorex мы концентрируемся на предоставлении высококачественных, экономичных и долговечных фокусировочных колец для обработки полупроводников, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о наших прочных кольцах фокусировки для обработки полупроводников.

Параметры прочных колец фокусировки для обработки полупроводников

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности прочных колец фокусировки для обработки полупроводников

● Графит высокой чистоты и покрытие SiC для устойчивости к точечным отверстиям и увеличения срока службы.

● И графитовая подложка, и слой SiC обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

● Покрытие SiC наносится тонкими слоями для увеличения срока службы.

Горячие Теги: Прочные кольца фокусировки для обработки полупроводников, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Передовые, Прочные

Тег продукта

Связанная категория