Трубка диффузионной печи

Труба диффузионной печи обычно изготавливается из кварца высокой чистоты или SiC, которые обладают исключительной термической стабильностью и устойчивостью к химическим реакциям. Это важно, поскольку труба диффузионной печи не должна вносить примеси в обрабатываемые полупроводниковые материалы. Даже малейшие примеси могут оказать существенное негативное влияние на производительность и надежность изготовленных полупроводниковых приборов.

Материалы, используемые при изготовлении трубы диффузионной печи, выбираются из-за их высокой чистоты, чтобы предотвратить загрязнение полупроводниковых пластин во время обработки. Труба диффузионной печи выдерживает экстремальные температуры, возникающие во время обработки полупроводников, не деформируя и не нарушая ее структурную целостность. Это обеспечивает стабильную и надежную работу в течение длительных периодов эксплуатации. Помимо термической стабильности, труба диффузионной печи также демонстрирует устойчивость к коррозионному воздействию химикатов и газов, используемых при обработке полупроводников. Это предотвращает разрушение трубки с течением времени и обеспечивает долговечность.

Некоторые трубы диффузионных печей могут иметь футеровку, изготовленную из специальных материалов для дальнейшего повышения их производительности или обеспечения дополнительной защиты от загрязнения или химических реакций. Эти вкладыши тщательно отбираются с учетом свойств материала трубки и конкретных требований процесса производства полупроводников.