Консольное весло из карбида кремния на заказ

Консольная лопатка Semicorex Custom SiC служит важнейшим связующим звеном между системой загрузки пластин и сердцем диффузионной печи, отвечая за транспортировку лодочек кварцевых или SiC пластин с кремниевыми пластинами в зону высокотемпературной обработки. Их конструкция и свойства материалов тщательно оптимизированы для этой сложной задачи:

Прочная консольная конструкция для стабильной транспортировки пластин:Консольная конструкция с жестким рычагом, входящим в печь, обеспечивает исключительную стабильность и точный контроль над движением пластин. Это обеспечивает плавную транспортировку без вибрации, сводя к минимуму риск поломки или смещения пластины во время загрузки и разгрузки.

Высокая нагрузочная способность для эффективной пакетной обработки:Присущая SiC-керамике прочность и жесткость позволяют консольной лопатке Custom SiC выдерживать большие нагрузки кремниевых пластин, максимизируя производительность каждого диффузионного цикла и способствуя увеличению объемов производства.

Точный контроль размеров для плавной интеграции: Консольная лопатка Custom SiC тщательно изготовлена ​​в соответствии с точными размерными спецификациями, что обеспечивает идеальную совместимость с системой диффузионной печи и облегчает интеграцию с автоматизированными роботами для обработки пластин.

Выбор керамики SiC, в частностиРеакционно-связанный карбид кремния (RBSiC)иСпеченный карбид кремния (SSiC), поскольку материал, выбранный для изготовления консольных лопастей Custom SiC, обусловлен их исключительными эксплуатационными характеристиками в условиях высоких температур:

Непоколебимая высокотемпературная стабильность: Консольная лопатка Custom SiC демонстрирует исключительную устойчивость к деформации и ползучести даже при повышенных температурах (до 1600°C), возникающих в диффузионных печах. Это обеспечивает постоянную поддержку пластины и предотвращает провисание или изгиб, которые могут поставить под угрозу однородность пластины.

Исключительная стойкость к тепловому удару:Способность выдерживать быстрые температурные переходы без повреждений имеет решающее значение для поддержания целостности кантилевера Custom SiC Cantilever Paddle в течение бесчисленных циклов диффузии. Керамика SiC превосходна в этом отношении, сводя к минимуму риск растрескивания или разрушения, которые могут привести к дорогостоящим простоям.

Низкое тепловое расширение для точного выравнивания:Минимальное тепловое расширение керамики SiC гарантирует, что консольная лопатка Custom SiC сохраняет стабильность размеров в широком диапазоне температур, возникающих во время эксплуатации. Это имеет решающее значение для поддержания точного выравнивания пластин внутри печи, обеспечения равномерного нагрева и стабильных профилей диффузии.