Semicorex предлагает вафельные лодочки, пьедесталы и нестандартные держатели вафель для вертикальных/столбчатых и горизонтальных конфигураций. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытия из карбида кремния в течение многих лет. Наша партия вафельных лодочек имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Вафельные лодочки Semicorex Batch Wafer Boat изготовлены из высококачественного керамического материала на основе карбида кремния, обеспечивающего превосходную химическую стойкость и термическую стабильность.
Наша Лодочка для вафель периодического действия имеет гладкую поверхность и обеспечивает превосходную поддержку и защиту вафель во время обработки. Покрытие SiC обеспечивает однородность и стабильность во время обработки, защищая пластины от загрязнения и повреждения. Обладая отличной теплопроводностью и превосходной механической прочностью, наши держатели для пластин обеспечивают стабильные и надежные результаты.
Наша команда экспертов стремится обеспечить лучшее качество и сервис. Мы предлагаем индивидуальные конструкции для удовлетворения ваших конкретных требований, а наши вафельные лодочки для периодического действия поддерживаются нашей программой обеспечения качества.
Параметры вафельной лодки периодического действия
Технические характеристики |
||||
Индекс |
Единица |
Ценить |
||
Название материала |
Реакция спеченного карбида кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
|
Состав |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С)90-100(1400°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
твердость |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Нарушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент температурного расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
ГПа |
360 |
410 |
240 |
Разница между SSiC и RBSiC:
1. Процесс спекания отличается. RBSiC предназначен для внедрения свободного Si в карбид кремния при низкой температуре, SSiC образуется путем естественной усадки при 2100 градусах.
2. SSiC имеет более гладкую поверхность, более высокую плотность и более высокую прочность, для некоторых уплотнений с более строгими требованиями к поверхности SSiC будет лучше.
3. Разное время использования при разном pH и температуре, SSiC длиннее, чем RBSiC.
Особенности вафельной лодки периодического действия
- Высокая прочность (твердость по шкале Мооса 9,5, уступает только алмазу)
- Коррозионная стойкость к кислотам, щелочам, солям и органическим растворителям
- Высокая теплопроводность, плазмостойкость, долгий срок службы
- Полупроводники