Кремниевая пластина для травления PSS

Кремниевая травильная пластина Semicorex для травления PSS представляет собой высококачественный носитель сверхчистого графита, специально разработанный для процессов эпитаксиального выращивания и обработки пластин. Наш носитель может выдерживать суровые условия, высокие температуры и суровую химическую очистку. Кремниевая пластина для травления PSS обладает отличными свойствами распределения тепла, высокой теплопроводностью и экономична. Наша продукция широко используется на многих рынках Европы и Америки, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Силиконовая травильная пластина Semicorex для травления PSS разработана для самых требовательных применений эпитаксионного оборудования. Наш сверхчистый графитовый носитель может выдерживать суровые условия, высокие температуры и суровую химическую очистку. Носитель с покрытием SiC обладает превосходными свойствами распределения тепла, высокой теплопроводностью и является экономически эффективным.

Параметры кремниевой травильной пластины для травления PSS

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности кремниевой травильной пластины для травления PSS

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.

Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа

- Гарантия равномерности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.

Горячие Теги: Кремниевая травильная пластина для травления PSS, Китай, производители, поставщики, фабрика, индивидуальные, массовые, усовершенствованные, долговечные

Тег продукта

Связанная категория