Пластина для травления кремния для травления PSS

Пластина для травления кремния Semicorex для травления PSS представляет собой высококачественный сверхчистый графитовый носитель, специально разработанный для процессов эпитаксиального роста и обработки пластин. Наш носитель может выдерживать суровые условия окружающей среды, высокие температуры и жесткую химическую очистку. Кремниевая травильная пластина для травления PSS обладает отличными свойствами распределения тепла, высокой теплопроводностью и экономичностью. Наша продукция широко используется на многих европейских и американских рынках, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Пластина для травления кремния Semicorex для травления PSS разработана для самых требовательных приложений эпитаксиального оборудования. Наш сверхчистый графитовый носитель может выдерживать суровые условия окружающей среды, высокие температуры и жесткую химическую очистку. Носитель с покрытием SiC обладает отличными свойствами распределения тепла, высокой теплопроводностью и экономичностью.

Параметры пластины для травления кремния для травления PSS

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики пластины для травления кремния для приложений травления PSS

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности

Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.

- Достичь наилучшего ламинарного потока газа

- Гарантия ровности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Пластина для травления кремния для травления PSS, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные