Держатель для травления для травления PSS

Держатель носителя для травления Semicorex для травления PSS разработан для самых требовательных приложений эпитаксиального оборудования. Наш сверхчистый графитовый носитель может выдерживать суровые условия окружающей среды, высокие температуры и жесткую химическую очистку. Носитель с покрытием SiC обладает отличными свойствами распределения тепла, высокой теплопроводностью и экономичностью. Наша продукция широко используется на многих европейских и американских рынках, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

В Semicorex мы разработали держатель носителя для травления для травления PSS специально для суровых условий, необходимых для процессов эпитаксиального роста и обработки пластин. Наш сверхчистый графитовый носитель идеально подходит для фаз осаждения тонких пленок, таких как MOCVD, эпитаксиальные токоприемники, блинчатые или сателлитные платформы, а также для обработки пластин, таких как травление. Носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наши продукты являются экономически эффективными и предлагают хорошее ценовое преимущество.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем держателе носителя для травления для травления PSS.

Параметры держателя травильного носителя для травления PSS

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности держателя носителя для травления для травления PSS

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности

Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.

- Достичь наилучшего ламинарного потока газа

- Гарантия ровности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Держатель носителя для травления для травления PSS, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные