Несущая пластина для травления PSS для полупроводников

Несущая пластина для травления Semicorex PSS для полупроводников специально разработана для высокотемпературных и агрессивных сред химической очистки, необходимых для процессов эпитаксиального выращивания и обращения с пластинами. Наша сверхчистая несущая пластина для травления PSS для полупроводников предназначена для поддержки пластин на этапах осаждения тонких пленок, таких как MOCVD и эпитаксиальные токоприемники, блинные или сателлитные платформы. Наш носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Мы предлагаем экономически эффективные решения для наших клиентов, и наша продукция охватывает многие европейские и американские рынки. Semicorex надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Несущая пластина для травления PSS для полупроводников от Semicorex является идеальным решением для фаз осаждения тонких пленок, таких как MOCVD, эпитаксиальные токоприемники, блинчатые или сателлитные платформы, а также обработки пластин, таких как травление. Наш сверхчистый графитовый носитель предназначен для поддержки пластин и выдерживает жесткую химическую очистку и высокотемпературную среду. Носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наши продукты рентабельны и имеют хорошее ценовое преимущество.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей несущей пластине для травления PSS для полупроводников.

Параметры несущей пластины для травления PSS для полупроводников

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики несущей пластины для травления PSS для полупроводников

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности

Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.

- Достичь наилучшего ламинарного потока газа

- Гарантия ровности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Несущая пластина для травления PSS для полупроводников, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные