Лоток для травления PSS для обработки пластин

Поднос PSS для травления Semicorex для обработки пластин специально разработан для требовательных применений эпитаксионного оборудования. Наш сверхчистый графитовый носитель идеально подходит для этапов осаждения тонких пленок, таких как MOCVD, эпитаксия токоприемников, блинных или сателлитных платформ, а также обработки пластин, например травления. Лоток для травления PSS для обработки пластин обладает высокой термостойкостью и устойчивостью к коррозии, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наша продукция экономически эффективна и имеет хорошее ценовое преимущество. Мы обслуживаем многие европейские и американские рынки и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Поднос для травления PSS для обработки пластин от Semicorex разработан для суровых условий, необходимых для процессов эпитаксиального выращивания и обработки пластин. Наш сверхчистый графитовый носитель предназначен для поддержки пластин на этапах осаждения тонких пленок, таких как MOCVD и эпитаксиальные токоприемники, блинные или сателлитные платформы. Носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наша продукция экономически эффективна и предлагает хорошее ценовое преимущество.

Параметры лотка для травления PSS для обработки пластин

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности лотка для травления PSS для обработки пластин

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.

Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа

- Гарантия равномерности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.

Горячие Теги: Лоток для травления PSS для обработки пластин, Китай, производители, поставщики, фабрика, индивидуальные, массовые, усовершенствованные, долговечные

Тег продукта

Связанная категория