В Semicorex мы разработали лоток для травления PSS для светодиодов специально для суровых условий, необходимых для эпитаксиального выращивания и процессов обработки пластин. Наш сверхчистый графитовый носитель идеально подходит для этапов осаждения тонких пленок, таких как MOCVD, эпитаксия токоприемников, блинных или сателлитных платформ, а также обработки пластин, например травления. Носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наш лоток для травления PSS для светодиодов экономически эффективен и предлагает хорошее ценовое преимущество. Мы обслуживаем многие европейские и американские рынки и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Поднос для травления PSS Semicorex для светодиодов разработан для суровых условий, необходимых для процессов эпитаксиального выращивания и обработки пластин. Наш сверхчистый графитовый носитель предназначен для поддержки пластин на этапах осаждения тонких пленок, таких как MOCVD и эпитаксиальные токоприемники, блинные или сателлитные платформы. Носитель с покрытием SiC обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, отличными свойствами распределения тепла и высокой теплопроводностью. Наша продукция экономически эффективна и имеет хорошее ценовое преимущество. Мы обслуживаем многие европейские и американские рынки и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем лотке для травления PSS для светодиодов.
Параметры лотка для травления PSS для светодиодов
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности лотка для травления PSS для светодиодов
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.
Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа
- Гарантия равномерности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.