Самой основной стадией всех процессов является процесс окисления. Процесс окисления заключается в помещении кремниевой пластины в атмосферу окислителей, таких как кислород или водяной пар, для высокотемпературной термообработки (800 ~ 1200 ℃), при этом на поверхности кремниевой пластины происходит х......
Читать далееРост эпитаксии GaN на подложке GaN представляет собой уникальную задачу, несмотря на превосходные свойства материала по сравнению с кремнием. Эпитаксия GaN предлагает значительные преимущества с точки зрения ширины запрещенной зоны, теплопроводности и электрического поля пробоя по сравнению с матери......
Читать далееОжидается, что полупроводники с широкой запрещенной зоной (WBG), такие как карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN), будут играть все более важную роль в силовых электронных устройствах. Они обладают рядом преимуществ по сравнению с традиционными кремниевыми (Si) устройствами, включая более высоку......
Читать далее