Как передовые материалы решают 3 критических задач в дизайне полупроводниковой печи

Гонка по сокращению размеров транзистора и масштабной эффективности солнечных батарей подталкивает оборудование для тепловой обработки в свои пределы. В SemiCorex мы провели два десятилетия, сотрудничая с ведущими производителями полупроводников и PV, чтобы учесть повторяющуюся болезнь: когда стандартные материалы терпят неудачу в экстремальных условиях, могут быть скомпрометированы целые производственные партии.

CVD -покрытия: броня для компонентов процесса

Химическое осаждение паров (CVD), такие как карбид кремниевого карбида (sic) и карбид тантала (TAC), революционизируют долговечность компонента в суровых условиях:

SIC CatingПреимущества:

Выдерживает температуру до 1650 ° C в инертных атмосферах

Уменьшает загрязнение частиц в эпитаксиальных реакторах роста

Продолживает срок службы графитовых восприимчиков на 3-5x

Покрытие TACв диффузионных барьерах:

Предотвращает инфильтрацию расплавленного кремния в крестянах (99,999% удержания чистоты)

Минимизирует боевую сумму во время быстрой тепловой обработки (RTP)

Когда температура превышает 1600 ° C: преимущество в покрытии CVD

Это не волшебство - это материаловедение. Наши запатентованные отложения процесса CVD как покрытия SIC, так и TAC с точностью атомного уровня, создавая поверхности, которые:

Сопротивляться коррозии паров кремния в 3 раза больше, чем стандартные покрытия

Поддерживать изменение толщины <0,5 мкм в сложных геометриях

Устранение расслоения покрытия даже при термическом велосипеде

Тихий кризис в термической однородности

В печи с ростом кристаллов непоследовательное распределение температуры может превратить кремний на сумму 250 тысяч долларов в лом. Через материальные инновации, такие как:

Графитовый войлок с плотностью (0,18-0,25 г/см времена дизайн градиента)

Углеродные композитные изоляторы с анизотропией <2% термического расширения

... мы помогли клиентам достичь:

✔ ± 1,5 ° C Осевая температурная однородность в 300 -миллиметровых системах Czochralski

✔ на 40% быстрее охлаждение без растрескивания слитков

Почему чистота кварца имеет значение больше, чем когда -либо

Когда литейный завод MEMS Tier-1 прослеживал дефекты частиц до лайнеров травлений, наш слитый кварцевый раствор без пузырьков:

Снижение загрязнения металла на 89% (анализ ICP-MS)

Расширенные интервалы профилактического обслуживания от 3 до 8 месяцев

Достигнутая 99,999% начальная чистота с содержанием щелочных металлов <0,1ppb

За пределами спецификаций: инженерия приложений имеет значение

В то время как технические характеристики обеспечивают базовые сравнения, производительность реального мира зависит от:

• Соединение материала -процесса - как компоненты взаимодействуют с конкретными химиями (например, CL₂ против SF₆ плазмы)

• Библиотеки режима сбоя - наша база данных из более чем более чем сбой компонента компонентов.

• Пользовательская оценка - регулировка пористости/проводимости графита через поперечные части части

Semicorex предлагает высококачественноеТанталум карбид покрытиКремниевый карбид покрытиндивидуальные детали. Если у вас есть какие -либо запросы или вам нужны дополнительные данные, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

Контактный телефон # +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com