Производство полупроводников, краеугольный камень современного технологического прогресса, находится в постоянном поиске меньших по размеру, более быстрых и эффективных интегральных схем. Это неустанное стремление порождает необходимость во все более точных и сложных производственных процессах, где ......
Читать далееЭлектростатические патроны (ESC) стали незаменимыми в производстве полупроводников и плоских дисплеев, предлагая безвредный и легко контролируемый метод удержания и позиционирования деликатных пластин и подложек на критических этапах обработки. Эта статья углубляется в тонкости технологии ESC, иссле......
Читать далееРазвитие 3C-SiC, важного политипа карбида кремния, отражает постоянное развитие науки о полупроводниковых материалах. В 1980-х годах Нишино и др. впервые получила пленку 3C-SiC толщиной 4 мкм на кремниевой подложке с помощью химического осаждения из паровой фазы (CVD) [1], заложив основу для техноло......
Читать далее