Полупроводниковые душевые головы

АГазовая распределительная пластина, часто называемый «душевой головой», может напоминать обычную душевую головку, но его цена может достигать сотен тысяч, что значительно выше, чем типичный душ в ванной комнате.

На поверхности пластины для распределения газа есть сотни или даже тысячи крошечных, точно расположенных отверстий, напоминающих тонко тканую нейронную сеть. Эта конструкция позволяет точно контролировать поток газа и углы впрыска, гарантируя, что каждая часть зоны обработки пластин равномерно «купается» в процессе газа. Это не только повышает эффективность производства, но и улучшает качество продукции.

Пластина распределения газа является неотъемлемой частью ключевых процессов, таких как очистка, травление и осаждение. Он напрямую влияет на точность полупроводниковых процессов и качество конечных продуктов, что делает его важнейшим компонентом в различных приложениях для распределения газа.

Во время процесса реакции пластин поверхностьдушплотно покрыт микропоры (апертура 0,2-6 мм). Благодаря точно разработанной структуре канала и газовой дорожке, газ специального процесса должен пройти через тысячи небольших отверстий на однородной газовой пластине, а затем быть равномерно осажден на поверхности пластины. Пленочный слой в разных областях пластины необходимо для обеспечения высокой однородности и последовательности. Следовательно, в дополнение к чрезвычайно высоким требованиям к чистоте и коррозионной стойкости, распределительная пластина газа имеет строгие требования к консистенции апертуры небольших отверстий на пластине распределения газа и заусенцах на внутренней стенке небольших отверстий. Если стандартное отклонение допуска и согласованности размера диафрагмы слишком велики или на любой внутренней стенке есть заусенцы, толщина нанесенного пленки слоя будет отличаться, что напрямую повлияет на выход процесса оборудования.

Материалом пластины для распределения газа иногда представляет собой хрупкий материал (такой как монокристаллический кремний, кварцевое стекло, керамика), который легко разбить под действием внешней силы. Это также сверхгеновое отверстие в пределах 50 раз превышает диаметр микропоры, и ситуация резки не может быть напрямую наблюдать. Кроме того, режущее тепло нелегко в передаче, а удаление чипа сложно, а бурильный бит легко сломается из -за блокировки чипа. Следовательно, его обработка и подготовка очень сложна.

Кроме того, в процессах с помощью плазмы (таких как PECVD и сухое травление), головка для душа, как часть электрода, также должна генерировать равномерное электрическое поле посредством радиочастотного источника питания, чтобы способствовать равномерному распределению плазмы, тем самым улучшая однородность травления или осаждения.

Поскольку газы, используемые в процессе производства полупроводников, могут быть высокой температурой, высоким давлением или коррозийной, душевая головка обычно изготавливается из коррозионных материалов. В фактическом производстве, из -за различных сценариев использования и фактической необходимой точности, пластина распределения газа можно разделить на следующие две категории в соответствии с его составом материала:

(1) Пластина металлического газа

Материалы металлических пластин с распределением газа включают алюминиевый сплав, нержавеющая сталь и никелевый металл, среди которых наиболее широко используемый металлический газовый материал - это алюминиевый сплав, поскольку он обладает хорошей теплопроводности и сильной коррозионной стойкостью. Он широко доступен и прост в обработке.

(2) Неметаллическая распределительная пластина газа

Материалы неметаллических пластин распределения газа включают в себя монокристаллический кремний, кварцевое стекло и керамические материалы. Среди них широко используемые керамические материалы-это CVD-SIC, керамика из оксида алюминия, керамика из нитрида кремния и т. Д.

Semicorex предлагает высококачественноеССИК СИК SIC SUMPLEHDSв полупроводниковой промышленности. Если у вас есть какие -либо запросы или вам нужны дополнительные данные, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

Контактный телефон # +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com