Держатель вафель

Держатель пластин Semicorex имеет тщательно продуманную конструкцию, сердечник которого изготовлен из графита высокой чистоты и тщательно покрыт карбидом кремния (SiC), что соответствует строгим требованиям оборудования для жидкофазной эпитаксии (LPE). Его конструкция и выбор материала имеют решающее значение для сохранения целостности пластин во время высокотемпературных процессов, присущих производству полупроводников.

Графитовый держатель пластин с SiC-покрытием демонстрирует исключительную устойчивость к износу, что является жизненно важной характеристикой для поддержания точных размеров и качества поверхности, необходимых для оптимального обращения с пластинами. В процессах LPE целостность поверхности держателя пластин имеет первостепенное значение, поскольку любая деградация или неровности могут привести к дефектам пластины, что приведет к снижению выхода продукции и увеличению отходов. Покрытие SiC гарантирует, что держатель пластин сохраняет гладкую и стабильную поверхность в течение повторяющихся циклов, способствуя общей надежности и постоянству процесса эпитаксии.

Кроме того, покрытие SiC улучшает тепловые характеристики держателя пластин. Высокая теплопроводность карбида кремния обеспечивает равномерное распределение тепла по пластине во время процесса эпитаксии, что имеет решающее значение для предотвращения температурных градиентов, которые могут вызвать деформацию или растрескивание пластин. Это гарантирует, что конечная продукция соответствует строгим стандартам качества, требуемым в производстве полупроводников. Сочетание свойственных графиту тепловых свойств с дополнительными преимуществами покрытия SiC позволяет создать держатель пластин, способный выдерживать самые сложные температурные условия.

Конструкция держателя пластин оптимизирована для использования в оборудовании LPE. Держатель пластин точно обработан для надежного размещения пластин, сводя к минимуму риск их смещения или смещения во время процесса эпитаксии. Эта точность имеет решающее значение, поскольку даже малейшее смещение положения пластины может привести к неравномерному осаждению, что повлияет на производительность изготавливаемых полупроводниковых устройств. Графитовый держатель пластин с SiC-покрытием обеспечивает необходимую стабильность, гарантируя, что пластины останутся в правильном положении на протяжении всего процесса.

                                                        Структура LEP от LPE