Графитовый токоприемник с покрытием SiC

Графитовый токоприемник Semicorex с покрытием SiC является важным компонентом, предназначенным для процессов эпитаксии кремния в установках Applied Materials и LPE (жидкофазная эпитаксия). Изготовленный из высококачественного графитового материала, покрытого карбидом кремния (SiC), этот токоприемник обеспечивает превосходную производительность и долговечность в условиях производства полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Покрытие SiC на графитовом токоприемнике с покрытием SiC служит нескольким целям. Во-первых, он обеспечивает повышенную термическую стабильность, позволяя точно контролировать температурные градиенты во время процессов эпитаксиального роста. Эта стабильность имеет решающее значение для достижения однородных и высококачественных слоев кремния в полупроводниковых пластинах. Покрытие SiC на графитовом токоприемнике с покрытием SiC обеспечивает превосходную стойкость к химической коррозии и тепловому удару, сохраняя целостность токоприемника даже в сложных технологических условиях. Такая долговечность приводит к увеличению срока эксплуатации и сокращению времени простоев, что в конечном итоге способствует повышению производительности и экономической эффективности предприятий по производству полупроводников.

Конструкция цилиндра графитового токоприемника с покрытием SiC облегчает эффективную загрузку и выгрузку пластин, оптимизируя производительность процессов эпитаксии. Кроме того, графитовый токоприемник с покрытием SiC представляет собой изделие, изготавливаемое по индивидуальному заказу, и его можно адаптировать в соответствии с конкретными требованиями и предпочтениями производителей полупроводников, обеспечивая совместимость с различными конфигурациями оборудования и параметрами процесса.