Фокусировочное кольцо из твердого карбида кремния

В производстве полупроводников фокусирующее кольцо Semicorex из твердого карбида кремния играет решающую роль, действуя как экран, сохраняя целостность пластины во время процесса травления. Его тщательно разработанная конструкция обеспечивает точное и равномерное травление, тем самым облегчая производство сложных полупроводниковых элементов, демонстрирующих превосходные характеристики и надежность.

Карбид кремния является предпочтительным материалом для фокусирующего кольца из-за его превосходной устойчивости к плазменной коррозии при воздействии плазмы внутри вакуумной реакционной камеры. Фокусирующее кольцо из твердого карбида кремния превосходит традиционное кремниевое кольцо по нескольким аспектам, в том числе:

(1) Высокая плотность, минимизирующая скорость травления.

(2) Превосходная запрещенная зона и отличные изоляционные свойства.

(3) Исключительная теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения и устойчивость к тепловому удару.

(4) Высокая эластичность в сочетании с превосходной устойчивостью к механическим воздействиям.

(5) Выдающаяся твердость, износостойкость и коррозионная стойкость.

Проводимость и устойчивость карбида кремния к ионному травлению аналогичны кремнию, что делает фокусирующее кольцо из твердого карбида кремния идеальным материалом для этого применения.

Фокусирующее кольцо Semicorex из твердого карбида кремния представляет собой современное решение в области производства полупроводников. Он использует уникальные свойства CVD SiC для обеспечения надежных и высокопроизводительных процессов травления, что вносит значительный вклад в развитие полупроводниковых технологий.