Графитовая душевая насадка с CVD-карбидом кремния

Графитовая душевая головка Semicorex CVD SiC (химическое осаждение из паровой фазы) с графитовым покрытием представляет собой специализированный компонент, используемый в различных промышленных процессах, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD). Он играет решающую роль в доставке газов-прекурсоров или химически активных веществ на поверхность подложки во время процессов осаждения.

Душевая головка из графита с покрытием CVD SiC изготовлена ​​из графита высокой чистоты и покрыта тонким слоем SiC методом CVD. Графитовая душевая головка с CVD-покрытием SiC сочетает в себе полезные свойства графита и SiC, что делает ее важным компонентом в различных процессах осаждения, где требуется точное и равномерное распределение газа, а также устойчивость к высоким температурам и химической среде.

Функции:

Химическая стойкость

Термическая стабильность

Гладкая и однородная поверхность

Снижение загрязнения