Душевая головка CVD с покрытием SiC

Изготовленная из графита высокой чистоты и покрытая тонким слоем SiC методом CVD, душевая головка CVD с покрытием SiC сочетает в себе преимущества как графита, так и SiC. В результате этого синергизма получается компонент, который не только превосходно обеспечивает последовательное и точное распределение газов, но также может похвастаться замечательной устойчивостью к термическим и химическим воздействиям, часто встречающимся в средах осаждения.

Ключом к функциональности душевой насадки CVD с покрытием SiC является ее способность равномерно распределять газы-прекурсоры по поверхности подложки. Эта задача достигается за счет ее стратегического размещения над подложкой и тщательного проектирования небольших отверстий или сопел, пронизывающих ее поверхность. Такое равномерное распределение имеет решающее значение для достижения стабильных результатов осаждения.

Выбор SiC в качестве материала покрытия для душевой насадки CVD с SiC Coat не является произвольным, а обусловлен его превосходной теплопроводностью и химической стабильностью. Эти свойства необходимы для уменьшения накопления тепла во время процесса осаждения и поддержания равномерной температуры по всей подложке, а также для обеспечения надежной защиты от агрессивных газов и суровых условий, типичных для процессов CVD.

Разработанная с учетом конкретных требований различных систем CVD и технологических требований, конструкция душевой насадки CVD с покрытием SiC включает в себя форму пластины или диска, оснащенную тщательно рассчитанным набором отверстий или прорезей. Душевая насадка CVD с конструкцией SiC Coat обеспечивает не только равномерное распределение газа, но и оптимальную скорость потока, необходимую для процесса осаждения, подчеркивая роль компонента как стержня в достижении точности и единообразия в процессах осаждения материала.