Твердые кольца CVD SiC

Семикорекс твердыйCVD-карбид кремнияКольца обычно устанавливаются внутри реакционных камер травильного оборудования, окружая электростатические патроны, и служат технологическим барьером и проводником энергии. Они могут концентрировать плазму внутри камеры вокруг пластины и предотвращать диффузию плазмы наружу, обеспечивая тем самым подходящее энергетическое поле для точного процесса травления. Это однородное и стабильное энергетическое поле может эффективно снизить такие риски, как дефекты пластины, технологический дрейф и потери производительности полупроводниковых устройств, вызванные неравномерным распределением энергии и искажением плазмы на краю пластины.

Отличные преимущества материала

Кольца Semicorex Solid CVD SiC изготовлены из CVD SiC высокой чистоты, что обеспечивает превосходные преимущества материала и полностью соответствует строгим требованиям к высокой чистоте и высокой коррозионной стойкости в средах травления полупроводников.

1. Высокая чистота

Чистота твердых колец Semicorex CVD SiC может превышать 99,9999%, что означает, что кольца практически не содержат внутренних примесей. Эта исключительная чистота материала позволяет избежать нежелательного загрязнения полупроводниковых пластин и технологических камер выбросами примесей во время процессов травления полупроводников.

2. Высокая коррозионная стойкость

Семикорекствердые кольца CVD-карбид кремниямогут сохранять структурную целостность и стабильность рабочих характеристик даже при воздействии сильных кислот, щелочей и плазмы благодаря превосходной коррозионной стойкости CVD SiC, что делает их идеальным решением для суровых условий обработки травления.

3. Надежное управление температурным режимом.

CVD-карбид кремния обладает высокой теплопроводностью и минимальным коэффициентом теплового расширения, благодаря чему кольца Semicorex из твердого CVD SiC обеспечивают быстрый рассеивание тепла и сохраняют превосходную стабильность размеров во время работы.

4. Исключительная однородность сопротивления.

Кольца Semicorex Solid CVD SiC обеспечивают исключительную однородность сопротивления с RRG < 5%.

Диапазоны сопротивления: Низкое разрешение. (<0,02 Ом·см), среднее разрешение. (0,2–25 Ом·см), высокое разрешение. (>100 Ом·см).

Точный контроль качества

Кольца Semicorex Solid CVD SiC обрабатываются и проверяются в соответствии со строгими стандартами, чтобы полностью соответствовать строгим требованиям точности и качества в области полупроводников и микроэлектроники.

Обработка поверхности: точность полировки Ra < 0,1 мкм; точность тонкого шлифования Ra > 0,1 мкм

Точность обработки контролируется в пределах ≤ 0,03 мм.

Проверка качества: кольца Semicorex из твердого карбида кремния CVD подвергаются измерению размеров, испытанию на удельное сопротивление и визуальному осмотру, чтобы убедиться в отсутствии сколов, царапин, трещин, пятен и других дефектов.