Кольца фокусировки из карбида кремния

Кольца фокусировки из карбида кремния.обычно устанавливаются в реакционной камере травильного оборудования, расположенной вокруг опорной поверхности пластины электростатического патрона. Такое расположение установки может успешно заполнить разницу высот между краем пластины и электродом, фокусируя плазму в реакционной камере на поверхности пластины для достижения равномерного травления, а также предотвращая диффузию плазмы наружу от края пластины, чтобы избежать проблемы чрезмерного травления края пластины.

Высококачественные компоненты для травления могут обеспечить стабильное электрическое поле для процесса травления. Фокусировочные кольца Semicorex из карбида кремния изготовлены из высокопроизводительнойкарбидокремниевые материалыметодом химического осаждения из паровой фазы. Наши кольца фокусировки способны регулировать распределение электрического поля вокруг пластины, значительно уменьшая отклонения при травлении или явления разряда, вызванные неравномерностью электрических полей.

Полупроводниковые пластины легко подвержены загрязнению частицами, поэтому процессы плазменного травления должны проводиться в сверхчистых реакционных камерах ионного травления. Фокусирующие кольца из карбида кремния, являясь основным компонентом оборудования для травления, в процессе реальной работы вступают в непосредственный контакт с краем пластины, что также необходимо для соответствия сверхвысоким стандартам чистоты. Фокусирующие кольца Semicorex из карбида кремния обладают преимуществами высокой чистоты и низкого содержания примесей, что позволяет точно соответствовать строгим требованиям к чистоте, предъявляемым к процессам травления полупроводников. Это в значительной степени способствует уменьшению дефектов пластин и повышению выхода продукции.

Во время процесса плазменного травления в реакционную камеру вводятся травильные газы, такие как фтор и кислород. Устойчивость травильного оборудования к химической коррозии серьезно снижается из-за долгосрочной коррозии, вызываемой технологическими газами. Благодаря превосходной стойкости к плазменной коррозии карбид кремния является оптимальным выбором материала для изготовления колец фокусировки. Снижая вероятность повреждения компонентов из-за коррозии и сводя к минимуму необходимость частой замены и технического обслуживания, кольца фокусировки из карбида кремния могут значительно повысить эффективность производства полупроводниковых пластин.