Керамика из карбида кремния (SiC) представляет собой современный керамический материал, содержащий кремний и углерод. Зерна карбида кремния могут быть соединены вместе путем спекания с образованием очень твердой керамики. Semicorex поставляет изготовленную на заказ керамику из карбида кремния по вашему требованию.
Приложения
При использовании керамики из карбида кремния свойства материала остаются постоянными вплоть до температур выше 1400°C. Высокий модуль Юнга > 400 ГПа обеспечивает превосходную размерную стабильность.
Типичным применением компонентов из карбида кремния является технология динамического уплотнения с использованием подшипников скольжения и механических уплотнений, например, в насосах и приводных системах.
Керамика из карбида кремния с улучшенными свойствами также идеально подходит для использования в полупроводниковой промышленности.
Вафельные Лодочки
Semicorex Wafer Boat изготовлен из спеченной керамики на основе карбида кремния, которая обладает хорошей коррозионной стойкостью и превосходной устойчивостью к высоким температурам и термическому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, а также уменьшает количество частиц и загрязняющих веществ для носителей пластин большой емкости.
Реакционно-спеченный карбид кремния
По сравнению с другими процессами спекания изменение размера реакционного спекания во время процесса уплотнения невелико, и можно производить продукты с точными размерами. Однако присутствие большого количества карбида кремния в спеченном теле ухудшает высокотемпературные характеристики спеченной в результате реакции керамики карбида кремния.
Спеченный без давления карбид кремния
Спеченный без давления карбид кремния (SSiC) представляет собой особенно легкую и в то же время твердую высокоэффективную керамику. SSiC характеризуется высокой прочностью, которая остается почти постоянной даже при экстремальных температурах.
Рекристаллический карбид кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (RSiC) представляет собой материалы нового поколения, образованные путем смешивания крупнозернистого порошка карбида кремния высокой чистоты и мелкодисперсного порошка высокоактивного карбида кремния, а после заливки вакуумным спеканием при 2450 ° C для рекристаллизации.
|
|
Реакция спеченного карбида кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
|
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
твердость |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Нарушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент температурного расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
ГПа |
360 |
410 |
240 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) |
Semicorex поставляет полупроводниковую керамику для ваших OEM-инструментов для изготовления полуфабрикатов и компонентов для обработки пластин. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытия из карбида кремния в течение многих лет. Наша керамическая втулка оси имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex поставляет полупроводниковую керамику для ваших OEM-инструментов для производства полуфабрикатов и компонентов для работы с пластинами. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытий из карбида кремния в течение многих лет. Наша осевая втулка SiC имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос