Планетарные токоприемники с SiC-покрытием

Планетарные токоприемники Semicorex с SiC-покрытием являются незаменимым опорным компонентом, предназначенным для эпитаксиального выращивания полупроводников в оборудовании Aixtron G2, в котором они способны надежно поддерживать пластины и вращаться в форме планетарного движения. Таким образом, можно успешно достичь точной термической однородности и равномерного распределения газа по поверхности пластины, что приводит к нанесению эпитаксиального слоя высочайшего качества на пластины.

Преимущества планетарных суцепторов Semicorex с SiC-покрытием

1. Карманный дизайн с несколькими пластинами

Semicorex с покрытием SiCпланетарные сенситорыхарактеризуются равномерным распределением нескольких пластинчатых карманов с точно контролируемыми размерами. Эти карманы для пластин способны прочно удерживать подложки пластин во время процесса эпитаксиального роста, что может эффективно минимизировать изменения эпитаксиального процесса, вызванные нежелательным движением подложек пластин. Кроме того, такая конструкция гнезда для нескольких пластин позволяет одновременно подвергать эпитаксиальному осаждению несколько подложек за один технологический цикл, что значительно повышает общую эффективность процесса эпитаксиального выращивания.

2. Оптимизированное расположение отверстий для потока газа

Semicorex включает в себя тщательно спроектированный набор каналов для потока газа.с покрытием SiCпланетарные суцепторы, которые улучшают оптимизацию динамики газового потока и температурную однородность по поверхности пластины на протяжении всего эпитаксиального процесса. Эта продуманная конструкция позволяет точно контролировать скорость потока и распределение газа внутри реакционной камеры, что важно для получения высококачественных тонких пленок, равномерной толщины слоя и надежной общей работы устройства.

3. Сверхвысокая чистота.

Планетарные токоприемники Semicorex с SiC-покрытием изготавливаются из материалов сверхвысокой чистоты и с чрезвычайно низким уровнем примесей, что полностью соответствует строгим требованиям чистоты, предъявляемым к производству полупроводников. Они эффективно минимизируют загрязнение пластин, вызванное выделением газов, даже в высокотемпературных и коррозионных условиях, типичных для эпитаксиальных процессов.

4. Длительный срок службы.

Контроль качества Semicorex начинается со строгого отбора сырья. Планетарные токоприемники с SiC-покрытием изготовлены с высокой точностью из графита полупроводникового качества и карбида кремния, что обеспечивает превосходную устойчивость к высоким температурам и коррозии, что позволяет им прекрасно выдерживать сложные высокотемпературные и высококоррозионные эпитаксиальные условия эксплуатации. Благодаря этим превосходным свойствам материала планетарные датчики Semicorex с SiC-покрытием могут сохранять свои стабильные характеристики и структурную целостность, а также избегать повреждения поверхности и снижения производительности в высокотемпературных и подверженных высокой коррозии реакционных камерах, что тем самым значительно продлевает срок службы планетарных датчиков с SiC-покрытием.