Токоприемники с графитовым основанием с покрытием SiC для MOCVD

Наши токоприемники на основе графита с покрытием SiC для MOCVD обладают высокой термо- и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность даже в экстремальных условиях.
Характеристики этих токоприемников на основе графита с покрытием SiC для MOCVD выдающиеся. Он изготовлен с покрытием из карбида кремния высокой чистоты на графите, что делает его очень устойчивым к окислению при высоких температурах до 1600°C. Процесс химического осаждения из паровой фазы, используемый при его производстве, обеспечивает высокую чистоту и отличную коррозионную стойкость. Поверхность носителя плотная, с мелкими частицами, повышающими его коррозионную стойкость, что делает его устойчивым к воздействию кислот, щелочей, солей и органических реагентов.
Наши токоприемники с графитовым основанием из карбида кремния для MOCVD обеспечивают равномерный тепловой профиль, гарантируя наилучшую ламинарную структуру потока газа. Он предотвращает диффузию любых загрязнений или примесей в пластину, что делает ее идеальной для использования в чистых помещениях. Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием SiC в Китае, и наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в полупроводниковой промышленности.

Параметры токоприемников на основе графита с покрытием SiC для MOCVD

Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.
Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа
- Гарантия равномерности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.