Токоприемники с графитовым основанием с покрытием SiC для MOCVD

Наши токоприемники с графитовым основанием с покрытием SiC для MOCVD обладают высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность даже в экстремальных условиях.
Характеристики этого токоприемника с графитовым основанием с покрытием SiC для MOCVD выдающиеся. Он изготовлен с покрытием из высокочистого карбида кремния на графите, что придает ему высокую стойкость к окислению при высоких температурах до 1600°С. Процесс химического осаждения из паровой фазы CVD, используемый при его производстве, обеспечивает высокую чистоту и превосходную коррозионную стойкость. Поверхность носителя плотная, с мелкими частицами, повышающими его коррозионную стойкость, делая его устойчивым к действию кислот, щелочей, солей и органических реагентов.
Наши токоприемники с графитовым основанием с покрытием SiC для MOCVD обеспечивают равномерный тепловой профиль, гарантируя наилучшую ламинарную схему газового потока. Он предотвращает проникновение любых загрязнений или примесей в пластину, что делает ее идеальной для использования в чистых помещениях. Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием SiC в Китае, и наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в полупроводниковой промышленности.

Параметры токоприемников на графитовой основе с покрытием SiC для MOCVD

Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей