MOCVD Susceptor Semicorex с графитовой подложкой из карбида кремния — идеальный выбор для производителей полупроводников, которым нужен высококачественный носитель, способный обеспечить превосходную производительность и долговечность. Его усовершенствованный материал обеспечивает равномерный тепловой профиль и ламинарную структуру потока газа, обеспечивая высококачественные пластины.
Наш токоприемник MOCVD на основе карбида кремния и графита имеет высокую чистоту и изготовлен методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования, что обеспечивает однородность и консистенцию продукта. Он также обладает высокой коррозионной стойкостью, имеет плотную поверхность и мелкие частицы, что делает его устойчивым к воздействию кислот, щелочей, солей и органических реагентов. Его стойкость к высокотемпературному окислению обеспечивает стабильность при высоких температурах до 1600°C.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем токоприемнике MOCVD с подложкой из карбида кремния и графита.
Параметры подложки из карбида кремния и графита. MOCVD-сусицептор
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.
Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
- Достижение наилучшей ламинарной схемы потока газа
- Гарантия равномерности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.