Подложка из карбида кремния и графита MOCVD Susceptor

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor — лучший выбор для производителей полупроводников, которые ищут высококачественный носитель, который может обеспечить превосходную производительность и долговечность. Усовершенствованный материал обеспечивает равномерный тепловой профиль и ламинарный характер потока газа, что позволяет получать высококачественные пластины.

Отправить запрос

Описание продукта

Наш токоприемник MOCVD на графитовой подложке из карбида кремния отличается высокой степенью чистоты и изготовлен путем химического осаждения из газовой фазы методом CVD в условиях высокотемпературного хлорирования, что обеспечивает однородность и консистенцию продукта. Он также обладает высокой коррозионной стойкостью, с плотной поверхностью и мелкими частицами, что делает его устойчивым к кислоте, щелочи, соли и органическим реагентам. Его стойкость к высокотемпературному окислению обеспечивает стабильность при высоких температурах до 1600°C.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем токоприемнике MOCVD с графитовой подложкой из карбида кремния.

Параметры токоприемника MOCVD на графитовой подложке из карбида кремния

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Карбид кремния Графитовая подложка MOCVD Susceptor, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные