Продукты

Лодочки для керамических пластин Semicorex SiC — это высокопроизводительные решения из карбида кремния, разработанные для безопасной поддержки и транспортировки пластин в современном производстве полупроводников. Благодаря этим превосходным преимуществам они хорошо подходят для точных высокотемпературных процессов производства полупроводников, таких как процессы окисления, диффузии и CVD.

Semicorex SiC Wafer Carrier изготовлен из керамики на основе карбида кремния высокой чистоты с помощью технологии 3D-печати, что означает, что он позволяет получать высокоценные компоненты обработки в течение короткого времени. Компания Semicorex стремится поставлять качественную продукцию нашим клиентам по всему миру.*

Верхние заземляющие кольца Semicorex CVD с SiC-покрытием являются важными компонентами кольцеобразной формы, разработанными специально для сложного оборудования плазменного травления. Являясь ведущим в отрасли поставщиком полупроводниковых компонентов, компания Semicorex специализируется на поставке высококачественных, долговечных и сверхчистых верхних заземляющих колец с CVD-покрытием SiC, чтобы помочь нашим уважаемым клиентам повысить эксплуатационную эффективность и общее качество продукции.

Твердые кольца Semicorex CVD SiC представляют собой высокопроизводительные кольцеобразные компоненты, которые в основном используются в реакционных камерах оборудования для плазменного травления в современной полупроводниковой промышленности. Кольца Semicorex Solid CVD SiC проходят строгий отбор материалов и контроль качества, что обеспечивает непревзойденную чистоту материала, исключительную стойкость к плазменной коррозии и стабильные эксплуатационные характеристики.

Уплотнения Semicorex SiC — это высокопроизводительные механические торцевые компоненты, разработанные для обеспечения превосходной износостойкости, термической стабильности и универсальной химической инертности в самых сложных условиях вращающегося оборудования. Semicorex — профессиональный поставщик керамических материалов SiC, который может поставлять высокоточную продукцию клиентам по всему миру.*

Semicorex SiC Pedestal — это высокоточный многофункциональный аппаратный компонент, предназначенный для обеспечения термической стабильности и сложного распределения жидкости, необходимого для современных микроканальных реакционных систем. Компания Semicorex специализируется на разработке и поставке опор из карбида кремния высокой чистоты в соответствии с потребностями клиентов.*