Продукты

Компонент ICP с SiC-покрытием Semicorex разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря тонкому кристаллическому покрытию SiC наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.

Когда дело доходит до таких процессов обработки пластин, как эпитаксия и MOCVD, высокотемпературное SiC-покрытие Semicorex для камер плазменного травления является лучшим выбором. Наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость благодаря тонкому кристаллическому покрытию SiC.

SiC-пластина Semicorex для процесса травления ICP является идеальным решением для требований высокотемпературной и жесткой химической обработки при осаждении тонких пленок и работе с пластинами. Наш продукт обладает превосходной термостойкостью и равномерной температурой, обеспечивая постоянную толщину и устойчивость эпи-слоя. Благодаря чистой и гладкой поверхности наше кристаллическое покрытие SiC высокой чистоты обеспечивает оптимальную обработку первичных пластин.

Носители пластин, используемые при эпиксиальном выращивании и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Носитель PSS для травления Semicorex SiC с покрытием, разработанный специально для требовательного оборудования для эпитаксии. Наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Стволовый токоприемник Semicorex с SiC-покрытием для эпитаксиального роста LPE — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Его равномерный термический профиль, ламинарный характер потока газа и предотвращение загрязнения делают его идеальным выбором для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев на пластинах-чипах. Его индивидуализация и экономичность делают его высококонкурентным продуктом на рынке.

Если вы ищете высокопроизводительный графитовый токоприемник для использования в производстве полупроводников, то идеальным выбором станет графитовый цилиндрический токоприемник Semicorex с SiC-покрытием. Его исключительная теплопроводность и свойства распределения тепла делают его идеальным выбором для надежной и стабильной работы в высокотемпературных и агрессивных средах.