Сепаратор цилиндра с покрытием SiC Semicorex для эпитаксиального роста LPE — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Его равномерный тепловой профиль, ламинарная картина газового потока и предотвращение загрязнения делают его идеальным выбором для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев на пластинах. Его настраиваемость и экономичность делают его высококонкурентным продуктом на рынке.
Наш цилиндрический токоприемник с покрытием SiC для эпитаксиального роста LPE — это высококачественный и надежный продукт, обеспечивающий отличное соотношение цены и качества. Его стойкость к высокотемпературному окислению, равномерный тепловой профиль и предотвращение загрязнения делают его идеальным выбором для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев на кристаллах пластин. Низкие требования к техническому обслуживанию и возможность настройки делают его высококонкурентным продуктом на рынке.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем цилиндрическом токоприемнике с покрытием SiC для эпитаксиального роста LPE.
Параметры цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для эпитаксиального роста методом ЖФЭ
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
SiC-ХОПФ свойства |
||
Кристальная структура |
Фаза FCC β |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Тепловое расширение (КТР) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для эпитаксиального роста методом ЖФЭ
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.