Токоприемник корпуса реактора с карбидным покрытием

Токоприемник Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor представляет собой графитовый продукт высшего качества с покрытием из карбида кремния высокой чистоты, разработанный специально для процессов ЖФЭ. Обладая отличной термостойкостью и коррозионной стойкостью, этот продукт идеально подходит для использования в производстве полупроводников.

Отправить запрос

Описание продукта

Если вы ищете высокопроизводительный графитовый токоприемник для формирования эпитаксиального слоя на полупроводниковых пластинах, то реакторный цилиндрический токоприемник с карбидным покрытием Semicorex — отличный выбор. Покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходное распределение тепла и теплопроводность, обеспечивая исключительную производительность даже в самых требовательных высокотемпературных средах.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных токоприемников корпуса реактора с карбидным покрытием, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры токоприемника корпуса реактора с карбидным покрытием

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (КТР)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики токоприемника корпуса реактора с карбидным покрытием

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.

Горячие Теги: Токоприемник ствола реактора с карбидным покрытием, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные