Корпус эпитаксиального реактора с карбидом кремния

Когда дело доходит до производства полупроводников, цилиндр эпитаксиального реактора Semicorex с SiC-покрытием является идеальным выбором, поскольку он обеспечивает превосходную производительность и исключительное распределение тепла. Этот графитовый продукт, покрытый карбидом кремния высокой чистоты, обеспечивает исключительную коррозионную и термостойкость, каждый раз гарантируя надежные и стабильные результаты.

В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению нашим клиентам высококачественной и экономически эффективной продукции. Наш корпус эпитаксиального реактора с покрытием из карбида кремния имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя продукцию стабильного качества и обеспечивая исключительное обслуживание клиентов.

Параметры эпитаксиального реакторного корпуса с покрытием SiC

Характеристики корпуса эпитаксиального реактора с покрытием SiC

- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.